?精密機(jī)械是指通過高精度設(shè)計、制造和裝配，能夠?qū)崿F(xiàn)微米級甚至納米級精度操作、測量或控制的機(jī)械裝置與系統(tǒng)，廣泛應(yīng)用于航空航天、醫(yī)療器械、電子制造、精密儀器等對精度和可靠性要求極高的領(lǐng)域。它融合了機(jī)械設(shè)計、材料科學(xué)、精密測量、自動控制等多學(xué)科技術(shù)，是高端制造業(yè)的核心基礎(chǔ)。
半導(dǎo)體制造
光刻機(jī)：核心精密機(jī)械系統(tǒng)，需將光刻圖案以納米級精度投影到晶圓上，其工作臺定位精度達(dá) ±2 納米，是芯片制程突破的關(guān)鍵。
晶圓劃片機(jī)、鍵合機(jī)：實現(xiàn)微米級切割和芯片封裝，確保半導(dǎo)體器件的電學(xué)性能。
航空航天與國防
慣性導(dǎo)航系統(tǒng)：陀螺儀、加速度計等精密機(jī)械元件，需在極端環(huán)境下保持 0.001°/h 的漂移精度，為航天器、導(dǎo)彈提供導(dǎo)航基準(zhǔn)。
衛(wèi)星天線調(diào)整機(jī)構(gòu)：實現(xiàn)天線指向精度 ±0.1°，確保與地面通信的穩(wěn)定性。
醫(yī)療器械
手術(shù)機(jī)器人（如達(dá)芬奇機(jī)器人）：機(jī)械臂末端操作精度達(dá) 0.1 毫米，可完成微創(chuàng)外科手術(shù)中的精細(xì)動作（如縫合血管）。
精密輸液泵：流量控制精度 ±1%，確保藥物劑量的精準(zhǔn)輸送。
精密儀器
電子顯微鏡：通過精密機(jī)械結(jié)構(gòu)控制電子束聚焦和樣品移動，分辨率達(dá) 0.1 納米，用于材料微觀結(jié)構(gòu)觀察。
激光干涉儀：作為長度基準(zhǔn)儀器，測量精度可達(dá) 0.01 微米，用于校準(zhǔn)其他精密設(shè)備。
高端裝備
精密數(shù)控機(jī)床：五軸加工中心的定位精度達(dá) ±5 微米，可加工航空發(fā)動機(jī)葉片等復(fù)雜曲面零件。
光學(xué)儀器：如天文望遠(yuǎn)鏡的鏡面調(diào)整機(jī)構(gòu)，定位精度達(dá)微米級，確保星光聚焦的清晰度。